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PLD 系列中功率准分子激光器
发布时间:2015-05-15 作者:

 

 

 

n产品概述

中功率准分子激光器广泛应用于科研、工业、医疗等。PLD系列中功率准分子激光器,输出功率可达30W,单脉冲能量可达550mJ,可用于PLD、微细加工、LDP、材料表面处理、激光退火、光谱分析等。

脉冲激光沉积(PLD)技术是薄膜制备的重要方法之一,目前已经成为材料学研究领域广泛应用的通用设备。PLD设备通常由准分子激光器和真空腔体组成。PLD 系列准分子激光器为脉冲激光沉积设备配套用激光器,波长193nm248nm308nm351nm全系列可供选择。PLD 20 输出能量最大可达550mJPLD 150最高重复频率可到150Hz,用户可以根据需要选择。

 

n产品特点

常用波长全系列可供选择,用户后期仍可更改

极低的输出光束发散角,保障聚焦光斑能量密度

采用磁助器激励回路设计,有效延长高压闸流管寿命

包含高压静电除尘装置,激光工作气体寿命长

体积紧凑,节约实验室空间

 

n技术参数

型号

PLD20

PLD150

介质气体

ArF

KrF

XeCl

XeF

ArF

KrF

XeCl

XeF

波长(nm)

193

248

308

351

193

248

308

351

最大单脉冲能量(mJ)

450

550

450

300

180

250

180

150

平均功率(W)

7

10

7

5

25

30

25

20

最大重复频率 (Hz)

20

150

脉冲宽度 (ns)(FWHM

~25

~20

能量稳定性(sigma %)

3

3

光斑尺寸(mm)

(V×H,nominal)

22×6

14×5

发散角(mrad)

(V×H,nominal)

~3×1

~3×1

 

n产品规格

 

PLD20

PLD150

 重量

230kg

200kg

 冷却方式

Water cooling

 电源要求

220V/50Hz/14A/1 phase

 外形尺寸(L×W×H)

1000mm×450mm×660mm

1300mm×400mm×900mm